<p class="ql-block">幾年前看過一位愛國學(xué)者的文章。八十年代他去美國參加關(guān)于計(jì)算機(jī)集成電路方面的展銷會，整個(gè)會場轉(zhuǎn)下來，他的眼中留下痛淚……他發(fā)現(xiàn)曾經(jīng)領(lǐng)先世界的中國芯片銷聲匿跡再也看不見了，他在文章中寫到：七十年代中國的集成電路，芯片，光刻機(jī)，計(jì)算機(jī)不輸西方，在西方是有一席之地的?？匆娺@篇文章非常震驚，有些不信去查資料。結(jié)果發(fā)現(xiàn)1977年人民日報(bào)報(bào)道：中國光刻機(jī)研制成功，投入使用。</p> <p class="ql-block">1977年之前中國光刻機(jī)已經(jīng)研制成功。</p> <p class="ql-block"><span style="font-size:18px;">七十年代中國已有自主產(chǎn)權(quán)的計(jì)算機(jī)，</span>第一臺每秒鐘運(yùn)算一百萬次的集成電路電子計(jì)算機(jī)的試制成功，是北京大學(xué)、北京有限電廠和燃化部有關(guān)單位，貫徹執(zhí)行毛主席的關(guān)于教育革命的指示，堅(jiān)持生產(chǎn)、使用、科研三結(jié)合，廣泛開展社會主義大協(xié)作，大搞群眾運(yùn)動的豐碩成果。</p><p class="ql-block">圖為計(jì)算機(jī)及各種配套的“外部設(shè)備”協(xié)同工作的情況。</p> <p class="ql-block">中美芯片之爭弄得沸沸，中國被美和西方卡脖子的梗中國人都知道。但是很多國人并不太了解芯片和光刻機(jī)之間的關(guān)系。那就先來談?wù)劰饪虣C(jī)吧。在芯片制造漫長的產(chǎn)業(yè)鏈中，光刻機(jī)是最為耀眼的明珠，它代表了人類科技發(fā)展的頂級水平（另一個(gè)是航空發(fā)動機(jī)），它是芯片制造中必不可少的精密設(shè)備。做芯片缺了光刻機(jī)就相當(dāng)于被人掐住了脖子。 </p><p class="ql-block">1952年，二戰(zhàn)的硝煙剛剛散去，中國開啟了計(jì)算機(jī)事業(yè)，國家成立電子計(jì)算機(jī)科研小組，由數(shù)學(xué)研究所所長華羅庚負(fù)責(zé)。華羅庚是中國著名科學(xué)家，也是享譽(yù)世界著名科學(xué)家。他是中國解析數(shù)論、矩陣幾何學(xué)、典型群、自守函數(shù)論與多元復(fù)變函數(shù)論等多方面研究的創(chuàng)始人和開拓者，并被列為芝加哥科學(xué)技術(shù)博物館中當(dāng)今世界88位數(shù)學(xué)偉人之一。國際上以華氏命名的數(shù)學(xué)科研成果有“華氏定理”、“華氏不等式”、“華—王方法”等。這是華羅庚簡介中最閃光的一部分。1956年，我國第一只晶體三極管誕生，自此與發(fā)達(dá)國家一樣，中國也進(jìn)入半導(dǎo)體新紀(jì)元。此時(shí)距離貝爾實(shí)驗(yàn)室研發(fā)的世界上第一只點(diǎn)接觸三極管已經(jīng)過去了9年。</p><p class="ql-block">1958年我國第一枚鍺晶體管試制成功。</p><p class="ql-block">我國第一個(gè)集成電路研制課題組成立。</p><p class="ql-block">我國第一代硅平面晶體管問世。</p><p class="ql-block">我國第一塊集成電路在北京、石家莊和上海等地相繼問世。其中包括中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、河北半導(dǎo)體研究所（簡稱13所）、北京市無線電技術(shù)研究所（簡稱沙河器件所）等。</p><p class="ql-block">劃重點(diǎn)，在1962年，我國出現(xiàn)了硅平面晶體管。何為平面晶體管？</p><p class="ql-block">據(jù)百度百科資料：“采用平面工藝制作的晶體管，就叫做平面晶體管?！倍@所謂的平面工藝，主要就是利用光刻技術(shù)和二氧化硅膜的掩蔽作用來進(jìn)行選擇擴(kuò)散和電極的蒸發(fā)。而對比上文可知，我國1965年第一塊集成電路誕生，可以大膽推測，我國利用光刻技術(shù)制造集成電路芯片的時(shí)間，差不多處于1965年前后。</p><p class="ql-block">1977年，我國最早的光刻機(jī)-GK-3型半自動光刻機(jī)誕生，這是一臺接觸式光刻機(jī)（就目前所能得到的資料而言）。資料如圖所示：</p> <p class="ql-block">GK-3光刻機(jī)</p><p class="ql-block">1978年，1445所在GK-3的基礎(chǔ)上開發(fā)了GK-4，把加工圓片直徑從50毫米提高到75毫米。</p> <p class="ql-block">通過查閱《光電工程》1981年第05期期刊得知，同一年，中國科學(xué)院半導(dǎo)體所開始研制JK-1型半自動接近式光刻機(jī)，并在1981年研制成功兩臺樣機(jī)。</p> <p class="ql-block">1982年科學(xué)院109廠的KHA-75-1光刻機(jī)，這些光刻機(jī)在當(dāng)時(shí)的水平均不低，最保守估計(jì)跟當(dāng)時(shí)最先進(jìn)的canon相比最多也就不到4年，而且從jkg系列至今仍再銷售的情況來看，都具有不錯(cuò)的使用價(jià)值。</p><p class="ql-block">1985年，機(jī)電部45所研制出了分步光刻機(jī)樣機(jī)，通過電子部技術(shù)鑒定，認(rèn)為達(dá)到美國4800DSW的水平。如果資料沒有錯(cuò)誤，這應(yīng)當(dāng)是中國第一臺分步投影式光刻機(jī)，采用的是436納米G線光源。按照這個(gè)時(shí)間節(jié)點(diǎn)算，中國在分步光刻機(jī)上與國外的差距不超過7年（美國是1978年）。</p><p class="ql-block">時(shí)間捋到這里，我們再來回顧一下五十年代-八十年代整個(gè)中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。五十年代開了個(gè)好頭，到六七十年代的時(shí)候，中國大陸的電子工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)僅次于美國，領(lǐng)先于韓、臺、日。1979年上海元件五廠和無線電十四廠甚至成功仿制英特爾公司1974年推出的8080CPU，比德國仿制成功還早一年。</p> <p class="ql-block">國產(chǎn)仿制CPU</p><p class="ql-block">1972年，武漢無線電元件三廠編寫的《光刻掩模版的制造》32開66頁。中國芯片光刻工藝研究起步，比美國稍晚，和日本差不多同時(shí)起步，比韓國、臺灣早十年。</p><p class="ql-block">1965年中國科學(xué)院研制出65型接觸式光刻機(jī)。1970年代中國科學(xué)院開始研制計(jì)算機(jī)輔助光刻掩模工藝。</p><p class="ql-block">清華大學(xué)研制第四代分步式投影光刻機(jī)，并在1980年獲得成功，光刻精度達(dá)到3微米，接近國際主流水平，那時(shí)光刻機(jī)巨頭ASML還沒誕生。 </p><p class="ql-block"> 一切都向著美好的方向發(fā)展，老一輩革命者和建造者奉獻(xiàn)自己的青春，造就了中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，很多資料顯示，當(dāng)時(shí)中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)雖然沒有超越當(dāng)時(shí)世界最先水平，但是差距并不大。更重要的是，打造了從單晶制備、設(shè)備制造、集成電路制造的全產(chǎn)業(yè)鏈，基本不依賴國外進(jìn)口，也就是說，中國以一國的供應(yīng)鏈去追趕整個(gè)西方發(fā)達(dá)國家聯(lián)盟的供應(yīng)鏈。要知道，當(dāng)時(shí)英特爾也是用的日本的光刻機(jī)。</p> <p class="ql-block">物似人非，時(shí)光飛逝到以夢為馬的八十年代 ，在造不如買，買不如租的思潮下，1976年就研制出芯片的武漢無線電子元件三廠被強(qiáng)制下馬，改生產(chǎn)塑料盆，1994年武漢無線電元件三廠破產(chǎn)改制賣副食品去了。同時(shí)被下馬的還有已經(jīng)飛上藍(lán)天的毛中國時(shí)代擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的運(yùn)十大飛機(jī)。</p> <p class="ql-block">中國近代百年，最懂工業(yè)是毛主席！!從1840年鴉片戰(zhàn)爭到1949年建國，中國沒有任何現(xiàn)代化工業(yè)。</p><p class="ql-block">毛主席時(shí)代，1949年開始，中國首先建立了大量的礦山，然后是鋼鐵廠，再以后是機(jī)械廠。當(dāng)機(jī)械工業(yè)初具規(guī)模后，你才可以生產(chǎn)車床制造各種車間。這時(shí)你才可以建立各種輕紡廠、自行車廠、電視機(jī)廠等等，以改善人民的生活。二彈，衛(wèi)星等才能研制成功。美國政客說，毛澤東用二十多么年時(shí)間走完了西方需要三百年時(shí)間才能走完的工業(yè)化道路。</p> <p class="ql-block">這是一張無比珍貴的歷史照片——毛主席舉起一支國產(chǎn)五六式半自動步槍做瞄準(zhǔn)狀。之所以珍貴，是因?yàn)橹笓]過千軍萬馬的毛主席平生很少摸槍，這是他唯一一張拿槍的照片，體現(xiàn)了共和國領(lǐng)袖對大比武活動的關(guān)懷和勉勵。</p>